基本信息

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文档摘要

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微导纳米：高端微纳装备制造商 5

以ALD技术为核心，不断丰富产品矩阵 5

营收较快增长，半导体设备量产加速 8

半导体薄膜沉积设备持续成长，微导纳米实现技术引领 9

全球半导体薄膜沉积设备市场规模持续增长 10

微导纳米关键工艺设备实现产业化突破 12

光伏薄膜沉积设备应用场景丰富，微导纳米布局多种技术路线 13

薄膜沉积设备广泛用于光伏电池生产 13

TOPCon技术领先，积极布局新一代高效电池技术路线 15

盈利预测与评级 16

风险提示 17

图表1：微导纳米发展历程 5

图表2：微导纳米主要产品 5

图表3：微导纳米股权