基本信息
文件名称：CHIPS研发测量说明书用户手册.pdf
文件大小：8.45 MB
总页数：32 页
更新时间：2026-04-03
总字数：约10.19万字
文档摘要
MetrologyGapsinthe
SemiconductorEcosystem:
FirstStepsTowardEstablishingthe
CHIPSRDMetrologyProgram
CHIPSResearchandDevelopmentOffice
June5,2023
CHIPS.gov
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