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文件名称：2026年EUV光刻胶国产化率基本为零技术攻关路线.docx
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总页数：37 页
更新时间：2026-04-02
总字数：约2.24万字
文档摘要
TOC\o1-3\h\z\u32512026年EUV光刻胶国产化率基本为零技术攻关路线 2
7141一、引言 2
119351.1背景介绍 2
314101.2EUV光刻胶的重要性 3
312681.3国产化现状及挑战 4
16250二、技术差距分析 5
62442.1国际先进技术与国内技术对比 6
304842.2关键技术与材料瓶颈分析 7
128412.3制约国产化率提升的主要因素 8
298三、技术攻关目标与路径规划 10
169863.1短期目标设定（2023-2024年） 10
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