基本信息
文件名称：PQ半导体级石英锭石英装置PQ811E PQ811EH说明书用户手册.pdf
文件大小：496.96 KB
总页数：2 页
更新时间：2026-04-04
总字数：约1.54千字
文档摘要
半导体级石英锭
I.应用领域
半导体级石英锭作为反应室直接接触的各类石英装置
的基础材料，应用于半导体晶圆制程工艺中。
II.产品特性
半导体级石英锭具备纯度高、低羟基、耐高温、微气泡少等特性。
III.产品类型
PQ811E、PQ811EH
IV．产品规格
尺寸范围（OD*H）
1800±20*600±20mm
V．物理化学性能