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基于复合腔体的压电泵设计与试验研究

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由于功耗低、结构简单、分辨率高等优势，压电泵在生物医药、芯片冷却、

燃料电池等领域具有广泛的应用前景。当前压电泵主要通过腔体容积变化实现流

体的单向泵送（即容积式泵），泵送的流体会经过驱动腔体，如果工作流体中存

在杂质（如气泡），腔体中容易出现杂质堆积进而发生堵塞或性能急剧下降的情

况，这严重影响了压电泵的稳定性和可靠性。为了提升压电泵的稳定