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三自由度多模式并联型压电精密驱动器研究

摘要

细胞显微操作系统在细胞切割、细胞融合、细胞注射等技术领域具有至关重要的

作用，是实现细胞层面精细操作的关键技术支撑。随着视觉分析和图像识别技术的不

断发展，细胞显微操作系统正向全自动化方向迈进，这对其移动定位平台的自由度、

精度、速度以及尺寸等方面提出了更高的要求。压电驱动技术因其高定位精度、快速

响应以及无电磁干扰等优点而受到广泛关注，成为细胞显微操作系统中精密运动控制

的优选方案。然而，现有的串联型压电驱动器在结构简