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基于复合振子的压电泵结构设计及试验研究

摘要

压电驱动具有响应速度快、控制精度高、无电磁干扰、易于微型化等特点，特别

适用于微型化和高精度场景。但现有压电泵的稳定性不好，主要表现为对气泡极为敏

感，一旦有气泡出现，输出流量与输出压力等性能即急剧下降，所以解决气泡问题将

大幅提高压电泵系统稳定性与可靠性，进而提升压电泵的应用前景。本文提出了一种

基于复合振子的压电泵(以下简称为复合振子压电泵)，通过复合振子实现在不降低压

电泵