基本信息

---

下载

文档摘要

---

集成球形玻璃谐振腔的超声微流控芯片：原理、制备与应用

一、引言

1.1研究背景

微流控芯片技术作为一门新兴的交叉学科技术，自20世纪80年代在生物医学领域起源以来，历经多年发展，已广泛渗透至半导体、化学、环境监测等诸多领域。这一技术通过在微米尺度（几十到几百微米）的微通道内对微量流体（体积为纳升到阿升）进行精确控制和操作，实现了生物、化学等实验室基本功能在几平方厘米芯片上的高度集成，故而也被称作“芯片实验室”或“微全分析系统”。

早期微流控芯片的发展与集成电路、光刻技术等密切相关，1970年代斯坦福大学的Terry等人首次提出“Lab-on-chip”概念，并开发