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文档摘要

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S-IMA口ZU

EPMA综合基础

岛津企业管理(中国)有限公司

大型仪器技术部

SHIMADZU

1.概要?原理篇

何为EPMA

ElectronProbeMicroAnalyzer

（电子）（探针）（微区）（分析仪器）

以前也被称为XMA（X射线微区分析仪），现在称为EPMA（电子束微区分析仪）。

也有将安装了EDS（能量色散型检测器）的SEM（扫描电子显微镜）叫做

EPMA的情况。一般来说，电子束照射到样品，通过WDS（波长分散型检测器）对X射线进行分析，并且安装了光学显微镜的仪器，我们把它称为EPMA。近