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文档摘要

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MEMS系统偏微分方程一般指标的深度剖析与应用研究

一、引言

1.1MEMS系统概述

微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS），又被称作微电子机械系统、微系统或微机械等，是指尺寸处于几毫米甚至更小范围的高科技装置。其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口以及通信等功能于一体的微型器件或系统，主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分构成。

MEMS技术的诞生，是多学科交叉融合的成果，它涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、