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研究报告

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LTPS制程与技术发展

一、LTPS制程概述

1.LTPS技术的起源与发展历程

LTPS技术，全称为液晶硅（LiquidCrystalPolysilicon）技术，起源于20世纪90年代。当时，随着显示技术的快速发展，对于高分辨率、低功耗、高画质的需求日益增长，传统的薄膜晶体管（TFT）技术已经无法满足这些要求。为了解决这一难题，研究人员开始探索新的材料和技术。经过多年的努力，液晶硅技术应运而生，它结合了液晶显示和硅半导体技术的优点，成为了新一代显示技术的主流。

液晶硅技术最初由日本夏普公司于1995年开发成功，并应用于笔记本电脑的液晶显示屏。