基本信息

---

下载

文档摘要

---

漩涡负压悬浮的理论基础概述

1漩涡气旋模型建立

压缩气体由腔体顶部沿切线方向进入工作区域，在圆柱形腔体壁面的束缚下形成漩涡流。高速旋转的压缩空气逐渐带动腔体中心区域的气体旋转，通过离心力将气体沿法线方向挤压，从而在腔体的中心区域产生负压。由于腔体内外的压力差，压缩气体以漩涡状向下运动，在腔体出口与硅片的间隙中呈散射状排出，从而在腔体与硅片外围形成较薄的气垫，对硅片产生一定的排斥作用[66][67]。放置于腔体下方的硅片受到负压区域的作用产生垂直向上的负压吸附力与少量外围气垫产生的斥力，最终实现非接触悬浮过程，如图2.4所示。为了避免硅片被吸入腔体内部或与腔体发生碰撞，硅片表面应当大于腔体内柱