PAGE1

PAGE1

微纳米尺度物理基础

原子力显微镜（AFM）原理

1.1原子力显微镜的基本原理

原子力显微镜（AtomicForceMicroscope,AFM）是一种高分辨率的表面成像技术，能够在纳米尺度上对材料表面进行扫描和表征。AFM通过一个非常尖锐的探针在样品表面进行扫描，利用探针与样品表面之间的相互作用力来生成表面的三维图像。这些相互作用力可以是范德华力、静电力、磁力等。

1.1.1探针与样品的相互作用

AFM探针通常由硅或氮化硅制成，探针尖端的直径可以小到几纳米。探针安装在一个微悬臂上，微悬臂的一端固定，另一端自由悬垂。当探针接近样品表面时，探针和样