T/UNPXXX—2025
自动砂轮划片机生产工艺规范
1范围
本标准规定了自动砂轮划片机生产工艺规范的术语和定义、厂房及设备设施、生产工艺流程、综合管
理、记录等内容。
本标准适用于自动砂轮划片机的生产制造企业，旨在规范生产工艺，确保产品质量和性能符合相关要求。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB2894安全标志及其使用导则
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
自动砂轮划片机automaticgrindingwheelcuttingmachine
一种用于切割薄硅片的高精度设备，主要用于半导体工业中。它通过高速旋转的砂轮进行切割，具有
成本低、效率高的特点。
4厂房及设备设施
4.1厂房
4.1.1厂房设计应根据生产工艺合理布局，面积和空间与生产能力相适应。
4.1.2生产区域与办公区域分开布置，有适当分隔或分离措施。
4.1.3厂区应设置消防通道和安全出口，道路满足消防、安全和运输需要。
4.1.4厂区安全标识应符合GB2894的规定。
4.2设施
4.2.1供水设施能确保水质、水压、水量及其他要求符合生产和安全的需要。
4.2.2排水设施能确保排水通畅，排水系统入口应安装带水封的地漏等装置。
4.2.3配备专门的废弃物分类存放设施，确保不泄露，易清洁。
4.2.4具有适宜的自然通风或机械通风措施，通风和排气设施应易于清洁、维修和更换。
4.2.5根据生产需要，必要时，有控制生产环境温度和湿度的适宜设施。
4.2.6安装适宜的照明设施，光线和亮度能满足生产需要。
4.2.7应具有能满足生产能力、贮存要求相适应条件的仓储设施。
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4.2.8生产区域应配备有必要的安全防护设施、消防设施。
4.3设备
4.3.1应配备与自动砂轮划片机相适应的生产设备、检测设备及仪器，确保满足自动砂轮划片机的生产
制造要求。
4.3.2落实专人操作和管理设备，建立设备保养和维修制度，加强日常维护、保养。做好相关维护保养
和检修记录。
4.3.3用于监测、控制的设备应定期校准、维护。
4.3.4按照设备操作手册进行操作，确保操作安全与规范。
5生产工艺流程
5.1设计与开发
5.1.1需求分析
根据市场需求和客户要求，确定自动砂轮划片机的工作行程要求、切割精度要求、切割速度要求、生
产效率等技术指标，形成需求分析报告。
5.1.2方案设计
根据需求分析结果，由技术团队进行产品方案设计。涵盖机械结构设计：确定划片机的整体布局、各
部件的形状和尺寸，确保结构紧凑、稳定；电气控制系统设计：选择合适的控制器、驱动器等，规划控制
逻辑和通信方式；工艺参数设计：如切割速度、砂轮转速等，通过模拟和计算初步确定合理的参数范围。
5.1.3设计评审与验证
组织跨部门团队（包括研发、生产、质量等）对设计方案进行评审，检查设计的合理性、可行性和可
靠性，必要时还可采用计算机分析软件对关键部件进行强度、刚度、振动等分析。根据评审和验证结果对
设计进行优化和改进，确保满足客户需求和生产要求。
5.2原材料及零部件
5.2.1原材料采购
采购符合国家标准和设计要求的原材料，如用于机身和关键部件的优质钢材、铝合金等。要求供应商
提供质量证明文件，如材质报告、检验报告等。到货后进行检验，检验项目包括化学成分分析、力学性能
测试、尺寸偏差测量等，确保原材料质量稳定可靠。
5.2.2零部件采购
选择信誉良好、质量稳定的零部件供应商，采购各类标准零部件和定制零部件。要求供应商提供零部
件的质量检验报告、合格证等文件，对采购的零部件进行严格的入厂检验，包括外观检查、尺寸测量、性
能测试等，对于关键零部件