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文档摘要

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P型透明导电氧化物薄膜：制备工艺与掺杂性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体材料的广袤领域中，透明导电氧化物（TCO）薄膜凭借其独特的光电特性，成为了现代光电子器件不可或缺的关键组成部分。这类薄膜不仅在可见光范围内展现出卓越的高透过率，让光线能够自由穿梭，同时还具备良好的导电性，能够高效地传输电荷，犹如为光电子器件搭建了一座畅通无阻的“光电桥梁”。

从液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）到触摸屏，从太阳能电池到气体传感器，TCO薄膜的身影无处不在。在LCD和OLED中，TCO薄膜作为透明电极，既保证了屏幕的清晰显示，又能有效地传输电流，驱动像素发光