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分步重复光刻机项目风险评估报告

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分步重复光刻机项目风险评估报告

目录

TOC\o1-9前言 4

一、安全评价范围、目的及依据 4

(一)、评价范围 4

(二)、评价目的 5

(三)、评价依据 7

二、环境评价 8

(一)、环境评价概述 8

(二)、评价分步重复光刻机项目概况 8

(三)、环评单位的基本情况 9

(四)、评价范围及目的 11

(五)、评价依据 12

(六)、国家环保法律法规 12

(七)、地方环保规定 13

(八)、相关标准和技术规范 13

(九)、评价程序与方法 13

(十)、环境评价程序 13

(十一)