突破效率瓶颈：AlGaN基深紫外半导体发光器件结构优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，半导体发光器件在众多领域展现出了巨大的应用潜力。其中，AlGaN基深紫外半导体发光器件以其独特的优势，成为了研究的热点。AlGaN基深紫外半导体发光器件可发射波长在200-365nm的深紫外光，在杀菌消毒、生物医疗、环境监测、光通信等领域具有广泛的应用前景。在杀菌消毒领域，深紫外光能够破坏微生物的DNA或RNA结构，从而达到高效杀菌消毒的目的，相较于传统的化学消毒方法，具有无残留、无污染、效率高等优点，在水和空气净化、食品保鲜、医疗卫生等方面有着重要的应用。在