超快激光直写：高通量三维微混合芯片的创新构建与多元应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，微纳加工技术作为支撑众多前沿领域创新的关键基石，正受到越来越广泛的关注。其中，超快激光直写技术以其独特的优势，在微纳加工领域中脱颖而出，成为了实现高精度、高分辨率微纳结构制造的重要手段。超快激光直写技术利用超短脉冲激光与材料相互作用时产生的非线性光学效应，能够在材料内部或表面实现亚微米甚至纳米级别的精细加工，突破了传统加工技术的分辨率限制。

与此同时，高通量三维微混合芯片作为微流控领域的重要研究方向，在生物医学、化学分析、材料合成等众多领域展现出了巨大的应用潜力。这类芯片能够在