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文件名称:用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物.pdf
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更新时间:2025-03-19
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文档摘要
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号
CN102314101A
(43)申请公布日2012.01.11
(21)申请号CN201110202425.7
(22)申请日2011.07.08
(71)申请人东友FINE-CHEM股份有限公司
地址韩国全罗北道益山市新与洞740-30
(72)发明人洪宪杓;尹嚆重;房淳洪;李承
(74)专利代理机构上海旭诚知识产权代理有限公司
代理人郑立
(51)Int.CI
G03F7/42;
H01L21/00;
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物
(57)摘要
本发明公开了一种用于除去聚酰亚胺的清
洗剂组合物,包含:基于组合物的总量,0.1~
10%wt%的由下列分子式1表示的氢氧化季铵;
50~90wt%的乙二醇醚化合物;7~30wt%的丙三
醇;和剩余的水。[N-(R)
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
2012-01-11公开公开
2013-07-31实质审查的生效实质审查的生效
2014-10-08著录事项变更著录事项变更
发明专利申请公布后的视为撤发明专利申请公布后的视为撤
2015-06-17
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说明书
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