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文档摘要

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四、超精密磨削、研磨和抛光(Grindingandpolishing)

超精密磨削超精密研磨

超精密抛光

五、超精密加工机床设备(Machinetool)

超精密机床开展典型超精密机床简介

超精密机床主轴、导轨、进给驱动系统;;超精密加工; ;?

;超精密加工的材料及其应用; ; ;

;;提高制造精度

提高产品质量和性能

提高产品可靠性

促进产品小型化

增强零件互换性;

;

; ;超精密加工对刀具材料的要求：

极高等硬度、极高得耐磨性能、极高的弹性模量

极锋利的刀刃、刃口半径值极小、能实现超薄切削

刀刃无缺陷、切削时将刃形复印到加工外表上，能得到超光滑的镜面

与工件的抗粘结性好、化学亲和性小、摩擦系数低、能得到极好的加工外表完整性;传统切削加工;超精密切削加工;超精密切削加工;超精密切削加工;金刚石刀具的特点：

硬度自然界最高，耐磨性能极好

能磨出极其锋利的刀刃

导热性能好

和有色金属摩擦系数低

金刚石晶体具有强烈的各向异性，不同晶面和不同方向的摩擦系数和耐磨性能不同。; ; ;超精密加工金刚石刀具;

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; ; ; ;砂带磨削; ;

; ; ; ; ;典型的超精密加工机床

早期超精密加工机床;;典型的超精密加工机床;超精密加工机床主轴系统;超精密加工机床导轨材料; ;超精密加工机床微位移机构; ; ;微细加工的实例; ;

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; ; ;常用的微细加工方法;原子、分子加工单位的微细加工方法; ; ; ;纳米级加工;纳米级加工方法;电子束和离子束加工;谢谢大家！

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