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文档摘要

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基于MEMS热式流量传感器的原理、设计与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，流量测量作为一项基础而关键的技术，广泛应用于工业生产、医疗诊断、科学研究等众多领域，对推动各领域的进步与发展起着不可或缺的作用。随着各行业对精细化控制和精准测量需求的不断增长，对流量传感器的性能要求也日益严苛，高精度、高可靠性、微型化以及智能化的流量传感器成为了研究的热点和发展的趋势。

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）热式流量传感器作为流量传感器领域的重要成员，凭借其独特的优势，在近年来取得了显著的发展与应用。它基于MEMS技