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文档摘要

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基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究

摘要

本研究聚焦于基于硅-玻璃盖板结构的MEMS加速度计的制备。通过对MEMS加速度计工作原理的深入剖析，阐述了采用硅作为主体材料以及玻璃盖板的优势。详细介绍了从材料准备、光刻、蚀刻到键合等一系列制备工艺流程，并对制备过程中的关键工艺参数进行了优化。实验结果表明，所制备的MEMS加速度计在灵敏度、线性度等性能指标上表现良好，为其在众多领域的应用奠定了基础。

关键词

MEMS加速度计；硅；玻璃盖板；制备工艺

一、引言

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）技术自问世以来，凭借其微型