一、工作简况，包括任务来源、主要工作过程、主要参加单位和工作组成员及其所做的
工作等
1、任务来源
为了更好的规范半导体单晶硅生长用石英坩埚行业发展，指导企业生产，让所有生
产企业有统一的标准来衡量产品质量，进行生产。中国电子材料行业协会于2020年决
定制定《半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范》团体标准。
本规范由锦州佑鑫石英科技有限公司，内蒙古欧晶石英有限公司与江西中昱新材料
科技有限公司负责起草。2020年9月成立了编制组，共同起草制定了《半导体单晶硅生
长用石英坩埚生产规范》团体标准。
2、主要工作过程
2020年7月成立了编制组并展开工作。参阅了国内外相关的标准和文献，努力编制
出高质量、具有可操作性的产品标准和生产规范。
2020年9月在内蒙古呼和浩特召开了《半导体单晶硅生长用石英坩埚》及《半导体
单晶硅生长用石英坩埚生产规范》的团体标准立项会；
2020年11月完成了《半导体单晶硅生长用石英坩埚》及《半导体单晶硅生长用石
英坩埚生产规范》的讨论稿，并在浙江余姚召开上述两项团体标准研讨会，邀请国内科
研院所，大学的专家，国内有代表性的坩埚生产企业共同讨论，对讨论稿中的标准范围、
相关技术参数和要求进行分析和讨论。
2020年12月完成《半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范》的征询意见稿。
二、编制原则和主要内容的依据
1、编制原则
本文件按照GB/T1.1-2020《标注化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草
规则》的要求进行编制。制定的原则是保持标准的科学性和适用性，各项技术指标均能
达到国内先进标准水平。
2、主要内容依据
本文件的编制主要参照《光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范》T/CEMIA004-2018
的要求以及国内主要生产石英坩埚企业的生产操作指导书、生产流程、检验人员和设备
的要求为依据，确保生产规范化，加强生产现场的有效控制，确保石英坩埚质量的稳定。
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三、规范主要制定内容说明
本规范明确了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员素质要求、设备要求、生
产原料、生产方法、生产现场环境、原辅材料入厂到形成最终产品的检验过程及人员防
护要求。确保生产规范化，加强生产现场的控制，有效控制作业现场，确保石英坩埚质
量的统一性和稳定性。
1、从业人员
?职业健康的要求
?岗位技能的要求
2、生产设备
?熔制设备的要求
?外表面处理设备的要求
?切边倒棱设备的要求
?化学清洗设备的要求
?烘干设备的要求
?涂层设备的要求
3、主要原辅材料
?石英砂的纯度要求
?石墨电极的理化指标要求
?化学药液、涂层原料、纯水的要求
4、生产工艺流程及方法（生产规范的工艺流程图）
4.1生产流程
上料成型电弧熔制初检
化学清洗过程检验切边、倒棱外表面处理
烘干成品检验包装出厂检验
涂层
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4.2生产方法
?熔制工序的要求
?外表面处理的要求
?切边倒棱工序的要求
?化学清洗工序的要求
?烘干工序的要求
?涂层工序的要求
?包装工序的要求
5、作业环境
?作业场所环境的要求
?生产现场及防护的要求
6、产品质量管控
?原辅材料管控要求
?生产过程管控的要求
?产品管控的要求
?实现石英坩埚从原材料进厂到交付前整个过程记录的要求
7、相对于光伏单晶硅生长用石英坩埚生产规范，本文件增加对以下内容进行增加
或调整：
?增加烘干的定义，增加烘干设备的说明，增加烘干生产过程的说明；
?将涉及化学清洗定义，设备和生产过程中的手动清洗和自动清洗相关条目进行合
并；
?将涉及涂层定义，设备和生