关于纯水处理系统流程及施工要点第1页，共33页，星期日，2025年，2月5日20世纪70年代以来，美国科技界为了研制超纯材料（半导体元件材料、纳米精细陶瓷材料等），最早提出并制备了纯水。纯水可定义为：运用过滤、脱碳除盐、离子交换、紫外线杀菌、超滤等技术，去除自然水体中的悬浮物、溶解物、细菌等杂质后制备的水，其特点是除水分子外，其他物质的含量为ppm级或ppb级。随着电子业、生物制药业的不断发展，纯水的应用领域越来越广泛。1.1.概念第2页，共33页，星期日，2025年，2月5日1.2.原水水质指标、纯水水质标准序号名称单位序号名称单位1温度摄氏度8重碳酸根毫克/升2色度度9氯离子毫克/升3浊度度10硫酸根毫克/升4硬度毫克/升11钙离子毫克/升5碱度毫克/升12镁离子毫克/升6电导率微西门子/厘米13总铁毫克/升7PH值14总有机碳毫克/升常规原水水质监测指标第3页，共33页，星期日，2025年，2月5日指标项目单位指标值项目单位指标值线宽μm0.5～0.25铵μg/L0.1电阻率25℃18.2溴化物μg/L0.05内毒素EU/Ml0.03氯化物μg/L0.05总有机碳μg/L2氟化物μg/L0.05溶解氧μg/L1硝酸盐μg/L0.05蒸发残余物μg/L0.5亚硝酸盐μg/L0.05显微镜测微粒L磷酸盐μg/L0.050.1～0.21000铝μg/L0.020.2～0.5500钡μg/L0.020.5～0.150硼μg/L0.02在线测微粒L铬μg/L0.020.05～0.1500铜μg/L0.020.1～0.2300铁μg/L0.020.2～0.350铅μg/L0.020.3～0.520锂μg/L0.020.54镁μg/L0.02细菌100mL样品1锰μg/L0.021L样品1镍μg/L0.02总硅μg/L0.5钠μg/L0.02溶硅μg/L0.1锶μg/L0.02钙μg/L0.02钾μg/L0.02锌μg/L0.02硫酸盐μg/L0.05美国计量测试学会纯水水质标准（ASTMD5127-99）第4页，共33页，星期日，2025年，2月5日目级别比电阻MΩ.cm@25℃硅≤μg/L1μm微粒数个/ml细菌个数个/ml铜≤μg/L锌≤μg/L镍≤μg/L钠≤μg/L钾≤μg/L氧≤μg/L硝酸根≤μg/L磷酸根≤μg/L硫酸根≤μg/L总有机碳≤μg/LEW-Ⅰ18（95%的时间不低于17）20.10.0010.20.20.10.50.5111120EW-Ⅱ15（95%的时间不低于13）1050.1111221111100国标GB/T11446.1-1997，EW-Ⅱ标准国标GB/T11446.1-1997，EW-Ⅰ标准第5页，共33页，星期日，2025年，2月5日指标项目单位指标值电阻率MΩ.cm@25℃18微粒数个/ml（1μm）10细菌个数个/100ml5总有机碳μg/L30溶解氧μg/L50总硅μg/L5Na/Kμg/L0.5Cuμg/L0.5Fe/Znμg/L1Clμg/L1液晶显示器件（TFT-LCD）项目超纯水水质指标第6页，共33页，星期日，2025年，2月5日1.3工艺原理物理反应：过滤、超滤化学反应：吸附、电渗析、反渗透、离子交换第7页，共33页，星期日，2025年，2月5日1.4典型工艺流程第8页，共33页，星期日，2025年，2月5日预处理系统(Pre-treatmentSystem)：砂滤、碳滤、阳床、阴床、脱碳酸塔、热交换器制程系统(Make-upSystem)：紫外线杀菌、保安过滤器、一级反渗透系统、二级反渗透、混床（电渗析系统）抛光系统(PolishingSystem)：热交换器、紫外线杀菌、抛光混床、超滤、膜脱气循环系统(DistributionSystem)：