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文件名称:传感器第6章课件.ppt
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更新时间:2025-04-03
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文档摘要

第6章压电式传感器;6.1压电效应及压电材料;图6-1压电效应可逆性;在自然界中大多数晶体都具有压电效应,但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究,发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。

压电材料可以分为两大类:压电晶体和压电陶瓷。

压电材料的主要特性参数有:

①压电常数:压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数,它直接关系到压电输出灵敏度。

②弹性常数:压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。;③介电常数:对于一定形状、尺寸的压电元件,其固有电容与介电常数有关;而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。

④机械耦合系数:它的意义是,在压电效应中,转换输出能量(如电能)与输入的能量(如机械能)之比的平方根,这是衡量压电材料机—电能量转换效率的一个重要参数。

⑤电阻:压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏,从而改善压电传感器的低频特性。

⑥居里点温度:它是指压电材料开始丧失压电特性的温度。;表6-1常用压电材料性能参数;6.1.1石英晶体

石英晶体化学式为SiO2,是单晶体结构。图6-2(a)表示了天然结构的石英晶体外形,它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的。其中纵向轴z称为光轴,经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴,与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”,而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。;图6-2石英晶体

(a)晶体外形;(b)切割方向;(c)晶片;若从晶体上沿y方向切下一块如图6-2(c)所示的晶片,当沿电轴方向施加作用力Fx时,在与电轴x垂直的平面上将产生电荷,其大小为;式中:d12——y轴方向受力的压电系数,根据石英晶体的对称性,有d12=-d11;

a、b——晶体切片的长度和厚度。

电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定。

石英晶体的上述特性??其内部分子结构有关。图6-3是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子,在垂直于z轴的xy平面上的投影,等效为一个正六边形排列。图中“”代表硅离子Si4+,“”代表氧离子O2-。

当石英晶体未受外力作用时,正、负离子正好分布在正六边形的顶角上,形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。如图6-3(a)所示。;图6-3石英晶体压电模型

(a)不受力时;(b)x轴方向受力;(c)y轴方向受力;因为P=ql,q为电荷量,l为正负电荷之间距离。此时正负电荷重心重合,电偶极矩的矢量和等于零,即P1+P2+P3=0,所以晶体表面不产生电荷,即呈中性。

当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时,晶体沿x方向将产生压缩变形,正负离子的相对位置也随之变动。如图6-3(b)所示,此时正负电荷重心不再重合,电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零。在x轴的正方向出现负电荷,电偶极矩在y方向上的分量仍为零,不出现电荷。;当晶体受到沿y轴方向的压力作用时,晶体的变形如图6-3c)所示。与图6-3(b)情况相似,P1增大,P2、P3减小。在x轴上出现电荷,它的极性为x轴正向为正电荷。在y轴方向上仍不出现电荷。

如果沿z轴方向施加作用力,因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同,所以正负电荷重心保持重合,电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力,晶体不会产生压电效应。

当作用力Fx、Fy的方向相反时,电荷的极性也随之改变。;6.1.2压电陶瓷

压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴,它有一定的极化方向,从而存在电场。在无外电场作用时,电畴在晶体中杂乱分布,它们各自的极化效应被相互抵消,压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性,不具有压电性质,如图6-4(a)所示。

在陶瓷上施加外电场时,电畴的极化方向发生转动,趋向于按外电场方向的排列,从而使材料得到极化。外电场愈强,就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度,即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时,当外