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ICS25.220.2025.220.40

CCSA29

中华人民共和国国家标准

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GBT453402025

金属及其他无机覆盖层镀层

厚度的测量斐索多光束干涉法

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Metallicandothernon-oraniccoatinsMeasurementofcoatin

ggg

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thicknessesFizeaumultile-beaminterferometrmethod

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(:,)

ISMOD

2025-02-28发布2025-09-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT453402025

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4原理………………………2

5设备………………………2

6影响测量精度的因素……………………2

6.1反射覆盖层…………………………2

6.2台阶形状……………3

6.3读数精度……………4

6.4表面平整度…………………………4

6.5台阶清晰度…………………………4

6.6粗糙度………………4

6.7洁净度………………4

6.8台阶的制备…………………………4

7校准………………………4

8检测步骤………………