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化合物半导体的外延生长设备项目建议书

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化合物半导体的外延生长设备项目建议书

目录

TOC\h\z17189概论 3

3993一、建设规划分析 3

31289(一)、产品规划 3

8273(二)、建设规模 4

14925二、背景和必要性研究 5

19714(一)、化合物半导体的外延生长设备项目承办单位背景分析 5

8859(二)、化合物半导体的外延生长设备项目背景分析 6

10648三、工艺先进性 7

10868(一)、化合物半导体的外延生长设备项目建设期的原辅材料保障 7

7895(二)、化合物半导体的外延生长设备