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文件名称：2025年大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书.docx
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总页数：56 页
更新时间：2025-04-09
总字数：约3.03万字
文档摘要
大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书
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大直径硅单晶及新型半导体材料项目建议书
目录
TOC\h\z29079概论 3
24954一、工艺先进性 3
958(一)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设期的原辅材料保障 3
472(二)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目运营期的原辅材料采购与管理 4
26832(三)、技术管理的独特特色 5
8261(四)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目工艺技术设计方案 7
17469(五)、设备选型的智能化方案 8
2811二、建设规划分析 9
10688(一)、产品规划 9
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