微弧氧化法制备负载型贵金属催化剂用于高效硅烷氧化的研究

一、引言

1.1研究背景与意义

硅烷作为一种重要的化合物，在半导体、光伏、材料等众多工业领域中发挥着不可或缺的作用。在半导体制造中，硅烷常用于化学气相沉积（CVD）工艺，通过热分解或氧化反应在基片上沉积出高质量的硅薄膜，是制备集成电路、传感器等器件的关键材料。在光伏产业，硅烷用于生产晶硅太阳能电池，其纯度和反应活性直接影响电池的转换效率和稳定性。此外，硅烷在制备高性能陶瓷、复合材料以及表面处理等方面也有广泛应用，为材料的性能提升和功能拓展提供了有力支持。

在硅烷参与的各类反应中，硅烷氧化反应尤为关键。通过硅烷氧化可以制备硅醇、硅氧烷等